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      高品質(zhì)金屬氧化物薄膜成長(zhǎng)方案

      MBE(分子束外延)用氧氣源適用案例

      高品質(zhì)金屬氧化物薄膜成長(zhǎng)方案(圖1)

      效果

      利用純臭氧作為氧氣源可以形成高品質(zhì)的金屬氧化物薄膜。

      利用純臭氧作為氧氣源的優(yōu)越性得到國(guó)際認(rèn)知。

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