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      洗凈/去除(灰化)方案

      半導體制造工程(高離子注入)的光刻膠灰化應用案例

       

      洗凈/去除(灰化)方案(圖1)洗凈/去除(灰化)方案(圖2)洗凈/去除(灰化)方案(圖3)

      效果

      室溫下高速度灰化

      可以灰化各種半導體光刻膠

      在高離子注入后灰化時不產生光刻膠爆裂



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